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用于調(diào)查附著異物和落塵的 “落塵計(jì)數(shù)器”介紹

發(fā)布時(shí)間:2024-02-01 點(diǎn)擊量:613

用于調(diào)查附著異物和落塵的 “落塵計(jì)數(shù)器"介紹


一種特殊的測(cè)量裝置,可以測(cè)量落塵而不是浮塵。
對(duì)10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分類(lèi)和計(jì)數(shù)。

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*這是與“粗顆粒計(jì)數(shù)器"不同的測(cè)量裝置。

您有這些問(wèn)題嗎?


  • 即使在無(wú)塵室中工作,異物的量也沒(méi)有減少。

  • 雖然它是使用粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行管理的,但不可能將其與缺陷關(guān)聯(lián)起來(lái)。

  • 我想創(chuàng)造一個(gè)干凈的環(huán)境,但不知道如何管理。

  • 我們很難處理從衣服等引入的異物。

通過(guò)測(cè)量落下的灰塵而不是漂浮的灰塵,可以采取針對(duì)附著異物的對(duì)策!

如果您想減少產(chǎn)品上附著的異物量,則應(yīng)使用落塵計(jì)數(shù)器而不是顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)量。

原因是:

① 導(dǎo)致附著異物的粗顆粒較大,范圍為 10 μm 至 100 μm,無(wú)法用顆粒計(jì)數(shù)器測(cè)量。

② 大顆粒不會(huì)漂浮在空氣中,而是沉降并成為落塵。

上面提到了兩個(gè)。

此外,ISO14644-17自2021年2月起頒布,可以直接使用引起缺陷的粗顆粒作為管理指標(biāo)。(點(diǎn)擊這里查看ISO14644-17中列出的PDR和PDRL之間的關(guān)系)

因此,通過(guò)測(cè)量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵,可以管理附著的異物。

什么是落塵計(jì)數(shù)器?


這是一種特殊的測(cè)量裝置,可以測(cè)量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵。

利用樣品收集板(4英寸硅片),利用粗顆粒的沉降特性,對(duì)下落的10μm以上的粗顆粒進(jìn)行分級(jí)計(jì)數(shù)。

它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進(jìn)行評(píng)估。

*硅晶片:圓盤(pán)狀樣品板,是表面平整度和耐熱性?xún)?yōu)異的半導(dǎo)體基板。

本機(jī)是專(zhuān)門(mén)利用硅片樣品對(duì)10μm至100μm粗顆粒進(jìn)行分類(lèi)和計(jì)數(shù)的測(cè)量設(shè)備。

對(duì)于頭發(fā)等100μm以上的異物,由于其形狀和重量,不適合使用硅片作為樣品。

建議使用“DUSCAR®100 BLACK"來(lái)調(diào)查較大的異物。

落塵計(jì)數(shù)器陣容



DTSP10-02DTSP10-03
最小可測(cè)量粒徑10μm10μm

粒度分級(jí)10μm、30μm、50μm、100μm

10μm、30μm、50μm、100μm
可在11~99μm*3范圍內(nèi)任意設(shè)定值
兼容晶圓尺寸4英寸4英寸2英寸*4)
最大測(cè)量面積φ80mmφ80mmφ30mm
修剪功能是的是的沒(méi)有任何
顯示切換沒(méi)有任何有(可單獨(dú)顯示)

*3) 任意分類(lèi)設(shè)定的閾值是從校準(zhǔn)曲線(xiàn)中獲得的值,無(wú)法保證計(jì)數(shù)效率。

*4) 僅在 4 英寸區(qū)域內(nèi)保證計(jì)數(shù)效率,對(duì)于 2 英寸區(qū)域無(wú)法保證計(jì)數(shù)效率,計(jì)數(shù)效率受到限制。

▼DTSP10-02▼DTSP10-03
落塵計(jì)數(shù)器測(cè)量①落塵計(jì)數(shù)器測(cè)量②


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